山东省半导体光电子工程技术研究中心(以下简称“中心”)成立于1996年,由山东省科学技术厅批准建设,依托山东大学信息科学与工程学院开展具体建设,并于2009年通过验收。
中心致力于基础科学研究和工程技术开发并重的建设理念,推动和促进技术与工程的相互融合,力争为可持续发展社会的技术需求提供源源不断的创新动力和技术支持。近年来,中心在多个热点科技领域进行研究,包括但不限于半导体材料与器件、光电子技术、光电子集成与系统等领域。通过与产业界的密切合作,中心致力于将科研成果转化为实际应用,并推动相关产业的发展。经过多年的发展和积累,逐渐形成了如下几个研究方向:
(1)电磁兼容与电磁场仿真:主要在微波器件、电磁仿真软件等方向开展工作;初步建成了微波天线测量平台、半导体激光器测试平台和光电芯片仿真设计平台。开发了国内首个可商业化光电芯片仿真设计工具,解决了光电芯片仿真设计工具领域的卡脖子问题;
(2)微纳器件制造与测试:初步建成了半导体微纳器件工艺平台、晶圆级纳米器件测试平台、存储芯片测试平台及高性能计算平台;在光电子集成、有机光电子、器件的可靠性测试和工业级硅光传感器等具体方向具备良好基础。
(3)光纤激光器与传感器:主要在点式和分布式光纤传感器系统、光通信器件和光网络系统、超快光纤激光器等方向开展工作。
(4)柔性电子方向:具备开展面向下一代智能感知和可穿戴设备的能力。目前,主要开展了数字微流控芯片的TFT器件物理、智能适形可穿戴心脏超声装备关键技术、新型 IGZO 垂直沟道器件及三维堆叠 DRAM 单元的研究等研究。
此外,中心注重人才培养和国际交流。中心为研究人员提供了广阔的学术研究平台和良好的科研环境,鼓励他们开展创新性的研究工作。同时,中心积极开展国际合作与交流,与国际知名研究机构、大学和企业建立了紧密的合作关系。促进了科技交流与合作,形成了产学研相结合的的良性发展趋势。
通讯地址:山东省青岛市即墨区鳌山卫街道滨海路72号山东大学信息科学与工程学院